• 产品名称：设备主控电路板（Equipment Main Control PCB）
• 产品简介：该电路板是 AMAT 设备控制系统的核心运算与控制部件，集成多种控制芯片与接口，负责接收、处理并分发设备各模块的指令与数据，保障设备机械系统、电气系统、工艺系统的协调运行，是设备的 “神经中枢”。
• 技术规格
  • 处理器：工业级双核 CPU，主频：2GHz，内存：4GB
  • 输入输出通道：24 路数字输入、24 路数字输出、8 路模拟输入
  • 通信接口：RS485、Ethernet，工作电压：24VDC，工作温度：0℃至 45℃
  • 尺寸：250mm×200mm，安装方式：导轨安装，防护等级：IP20
• 功能特点
  • 采用工业级元器件，抗电磁干扰能力强，适应半导体工厂复杂环境
  • 内置故障诊断程序，可快速定位电路板故障，便于维护
  • 支持程序在线升级，可适配设备工艺更新与功能扩展
  • 与设备各模块无缝通信，数据传输延迟低，控制同步性好
• 应用场景：适配 AMAT 各类半导体设备，包括晶圆传送设备、工艺腔室设备等，用于设备整体控制与工艺管理，保障半导体制造过程的稳定与高效。