• 产品名称：电阻加热模块（Resistive Heating Module）
• 产品简介：该模块是半导体工艺腔室的核心加热部件，通过电阻发热原理为工艺腔室提供稳定的热量，将晶圆或基座加热至设定温度，保障沉积、刻蚀等工艺的温度要求，是提升工艺均匀性的关键部件。
• 技术规格
  • 额定功率：8kW，加热温度范围：室温至 600℃，控温精度：±0.5℃
  • 输入电压：三相 380VAC，加热元件：镍铬合金电阻丝，冷却方式：水冷
  • 工作压力：0-10Torr，适配腔室：AMAT Endura 300mm PVD 腔室
  • 绝缘电阻：≥10^6Ω，防护等级：IP54
• 功能特点
  • 镍铬合金电阻丝发热效率高，温度分布均匀，保障晶圆表面温度一致性
  • 水冷设计快速散热，避免模块过热损坏，延长使用寿命
  • 内置温度传感器，实时监测加热温度，实现闭环控制
  • 具备过温保护功能，温度超过设定值时自动切断电源
• 应用场景：用于 AMAT Endura 系列 300mm PVD 设备，适配金属薄膜沉积工艺，保障工艺温度稳定，提升薄膜沉积质量与均匀性。