• 产品名称：设备冷却盘管（Equipment Cooling Coil）
• 产品简介：该盘管是 AMAT 设备冷却系统的关键部件，用于将设备发热部件产生的热量通过冷却介质带走，保障设备各部件在适宜温度下运行，避免因过热导致设备性能下降或损坏，是设备稳定运行的重要保障。
• 技术规格
  • 材质：不锈钢 316L，盘管内径：8mm，外径：12mm，长度：5m
  • 适配冷却介质：去离子水，工作压力：0-10bar，工作温度：5℃至 40℃
  • 耐受温度：-20℃至 150℃，导热系数：16W/(m・K)，安装方式：嵌入式
• 功能特点
  • 不锈钢材质耐腐蚀，适配半导体洁净环境，使用寿命长
  • 盘管弯曲半径精准控制，增加散热面积，提升冷却效率
  • 内壁光滑，减少冷却介质流动阻力，保障流量稳定
  • 具备抗振性能，适应设备运行过程中的振动环境，避免损坏
• 应用场景：用于 AMAT 各类半导体设备的冷却系统，适配刻蚀机、沉积设备的工艺腔室、射频电源、伺服电机等部件的冷却，保障设备长期稳定运行。