• 产品名称：200mm 晶圆传送机械臂末端执行器（End Effector）
• 产品简介：该执行器是 AMAT 晶圆传送系统的核心抓取部件，用于 200mm 晶圆的精准取放与转运，安装在机械臂末端，具备晶圆定位与防掉落功能，保障晶圆在设备各腔室间传送过程中无损伤、无污染，是半导体设备自动化传送的关键组件。
• 技术规格
  • 适配晶圆尺寸：200mm，材质：铝合金 + 陶瓷涂层，承载重量：1kg
  • 定位精度：±0.02mm，抓取方式：真空吸附，工作温度：0℃至 40℃
  • 适配机械臂：AMAT P5000 系列，防护等级：IP65，重量：0.8kg
  • 接口类型：M8 航空插头，真空吸附压力：-0.6bar 至 - 0.8bar
• 功能特点
  • 铝合金材质轻量化设计，机械臂运动惯性小，传送速度快
  • 陶瓷涂层耐腐蚀、抗磨损，适配半导体洁净环境，减少颗粒污染
  • 真空吸附结合机械限位，双重保障晶圆固定，防止传送过程中掉落
  • 内置晶圆存在传感器，实时反馈晶圆抓取状态，避免空抓或误抓
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura 系列 200mm 半导体设备，用于晶圆从晶圆盒到工艺腔室、从工艺腔室到冷却工位等环节的转运，保障 200mm 晶圆制造工艺的高效与稳定。