• 产品名称：射频电缆组件（RF Cable Assembly）
• 产品简介：该组件是半导体等离子体设备射频系统的关键连接部件，用于连接射频电源与射频匹配器，实现射频能量的低损耗传输，保障等离子体工艺的稳定进行，避免因信号传输异常导致工艺波动，是提升工艺效率与质量的重要组件。
• 技术规格
  • 线缆类型：半刚性同轴电缆，特性阻抗：50Ω，适配功率：0-30kW
  • 工作频率：13.56MHz，衰减系数：≤0.5dB/m，长度：3m
  • 接口类型：N 型公头 - N 型母头，材质：铜芯 + 聚四氟乙烯绝缘层 + 不锈钢屏蔽层
  • 工作温度：-20℃至 80℃，防护等级：IP54，重量：1.2kg
• 功能特点
  • 半刚性结构抗干扰能力强，射频信号传输稳定，反射损耗低
  • 聚四氟乙烯绝缘层耐高温、耐化学腐蚀，适配半导体工厂复杂环境
  • 不锈钢屏蔽层有效隔绝外部电磁干扰，保障信号纯度
  • 接头采用镀金处理，接触电阻小，插拔寿命≥1000 次
• 应用场景：用于 AMAT Centura、Endura 系列刻蚀机、CVD、PVD 等等离子体工艺设备，适配 200mm 与 300mm 晶圆制造工艺，保障射频能量高效传输至工艺腔室。