• 产品名称：工艺腔室石英窗口（Process Chamber Quartz Window）
• 产品简介：该窗口是半导体工艺腔室的关键光学部件，安装在腔室顶部，用于透射工艺监测所需的激光或红外信号，同时保持腔室真空密封性，保障工艺过程中腔室环境稳定，是工艺在线监测系统的重要组成部分。
• 技术规格
  • 材质：高纯石英（纯度 99.999%），尺寸：直径 200mm，厚度：10mm
  • 透光率：≥99%（波长 400nm-1100nm），耐受压力：0-10Torr
  • 耐受温度：室温至 300℃，表面粗糙度：Ra≤0.05μm，密封方式：氟橡胶 O 型圈
  • 适配腔室：AMAT Centura 200mm 刻蚀腔室
• 功能特点
  • 高纯石英材质透光性能优异，保障工艺监测信号精准传输
  • 耐高温、耐腐蚀，适配等离子体工艺环境，使用寿命长
  • 精准的尺寸公差，与腔室法兰完美适配，真空密封性能可靠
  • 表面经抛光处理，减少信号散射，提升监测精度
• 应用场景：适配 AMAT Centura 系列 200mm 刻蚀、CVD 设备，用于工艺过程中晶圆表面温度、薄膜厚度等参数的在线监测，保障工艺质量的实时控制。