• 产品名称：设备控制继电器模块（Equipment Control Relay Module）
• 产品简介：该模块是 AMAT 设备电气系统的核心控制部件，用于接收主控系统指令，控制设备各功率部件的通断，具备过载、过流等保护功能，保障设备电气系统安全稳定运行，避免因电气故障导致设备损坏或工艺中断。
• 技术规格
  • 继电器数量：8 路，触点类型：常开 / 常闭转换触点，额定电流：10A / 路
  • 额定电压：220VAC，控制电压：24VDC，响应时间：≤10ms
  • 工作温度：0℃至 50℃，防护等级：IP20，安装方式：DIN 导轨安装
  • 尺寸：100mm×80mm×60mm，重量：0.5kg
• 功能特点
  • 采用工业级继电器，触点接触电阻小，使用寿命≥100000 次
  • 内置浪涌抑制电路，有效抵御电气干扰，保障信号稳定
  • 具备继电器状态指示灯，便于现场维护人员快速判断工作状态
  • 支持热插拔，更换时无需关闭设备，不影响正常生产
• 应用场景：适配 AMAT 各类半导体设备，用于控制加热模块、冷却系统、气动阀门等功率部件的通断，保障设备电气系统的协调运行，适配 200mm 与 300mm 晶圆制造工艺。