• 产品名称：气动阀门控制模块（Pneumatic Valve Control Module）
• 产品简介：该模块是 AMAT 设备气动系统的核心控制部件，用于控制气动阀门的开关动作，通过接收主控系统信号，调节压缩空气的通断与压力，保障腔室门、狭缝阀等气动部件动作精准、快速，是设备自动化运行的重要组成部分。
• 技术规格
  • 控制通道：16 路，适配阀门类型：两位五通气动阀，工作压力：0.4-0.8MPa
  • 响应时间：≤0.2s，供电电压：24VDC，输出信号：数字信号
  • 工作温度：-10℃至 60℃，防护等级：IP65，安装方式：壁挂式
  • 尺寸：200mm×150mm×80mm，重量：1.5kg
• 功能特点
  • 采用集成式设计，减少管路连接，降低漏气风险，提升系统可靠性
  • 内置压力传感器，实时监测气动系统压力，异常时触发报警
  • 具备阀门位置反馈功能，可与主控系统形成闭环控制，动作精度高
  • 耐油、耐水、耐腐蚀，适配半导体工厂的工业环境
• 应用场景：用于 AMAT 各类半导体设备的气动系统，适配腔室狭缝阀、晶圆传送机械臂气动夹爪、腔室门气动驱动等部件，保障设备自动化运行的精准与高效。