• 产品名称：静电卡盘电极（Electrostatic Chuck Electrode）
• 产品简介：该电极是半导体工艺腔室静电卡盘的核心部件，用于产生静电场，实现晶圆的静电吸附固定，替代传统机械夹具，保障晶圆在工艺过程中无机械损伤、温度均匀，是提升晶圆良率与工艺质量的关键组件。
• 技术规格
  • 适配晶圆尺寸：300mm，材质：高纯氧化铝陶瓷，电极数量：4 个
  • 静电吸附电压：0-2000VDC，吸附力：≥5N/cm²，控温范围：室温至 600℃
  • 工作压力：0-10Torr，绝缘电阻：≥10^12Ω，冷却方式：水冷
  • 适配腔室：AMAT Endura 300mm PVD 腔室
• 功能特点
  • 高纯氧化铝陶瓷绝缘性能好，耐高温、抗等离子体侵蚀，使用寿命长
  • 多电极设计，吸附力均匀，保障晶圆表面温度一致性
  • 具备快速充放电功能，晶圆装卸便捷，提升设备运行效率
  • 适配脉冲直流供电，可根据工艺需求调整吸附力大小
• 应用场景：适配 AMAT Endura 系列 300mm PVD、CVD 设备，用于逻辑芯片、存储芯片等半导体器件制造中的高温工艺，保障晶圆固定稳定与温度均匀，提升薄膜沉积质量与刻蚀图形精度。