• 产品名称：直流电源模块（DC Power Supply Module）
• 产品简介：这是一款为半导体设备各执行部件提供稳定直流供电的电源模块，具备高精度、高稳定性的供电能力，可适配设备中电机、传感器、控制电路等多种部件的供电需求，是保障半导体设备稳定运行的基础组件。
• 技术规格
  • 输出电压范围：0-48V 连续可调，支持多档位电压输出
  • 输出电流：最大输出电流 50A，可满足大功率部件的供电需求
  • 电压精度：±0.1%，电流精度：±0.2%，保障供电的稳定性
  • 纹波与噪声：≤5mVp-p，减少电源波动对精密电路的干扰
  • 工作效率：≥90%，高效的电能转换降低设备的能耗
  • 保护功能：具备过压、过流、过温、短路保护，保护阈值可自定义设置
  • 工作温度：0℃至 50℃，可适配半导体洁净厂房的环境温度
• 功能特点
  • 采用开关电源拓扑结构，体积小、重量轻，便于设备内部安装与布局
  • 支持并联运行，可根据设备供电需求扩展输出功率，提升供电系统的灵活性
  • 具备远程监控功能，可通过上位机软件实时监测电源的输出电压、电流等参数
  • 启动响应速度快，从待机状态到稳定输出的时间≤100ms，保障设备快速启动与运行
• 应用场景：广泛应用于 AMAT 的各类半导体设备，如刻蚀机、沉积设备、CMP 设备等，为设备中的机械传动系统、真空系统、检测系统等提供稳定供电，适用于半导体晶圆制造的全流程，也可用于半导体设备的维修与备件替换，保障设备的持续稳定运行。