• 产品名称：晶圆传送机械臂驱动电机（Robot Drive Motor）
• 产品简介：该电机是 AMAT 晶圆传送机械臂的核心动力部件，为机械臂的精准运动提供动力，具备高转速、高精度、高稳定性的特点，适配 300mm 晶圆传送系统，是保障晶圆快速、精准传送的关键组件。
• 技术规格
  • 电机类型：无刷直流伺服电机
  • 额定功率：500W，峰值功率 1500W，满足机械臂的动力需求
  • 额定转速：3000rpm，转速调节范围 0-5000rpm，适配不同传送速度需求
  • 扭矩输出：额定扭矩 1.6N・m，峰值扭矩 4.8N・m
  • 位置控制精度：±0.01°，保障机械臂的精准定位
  • 编码器类型：23 位绝对式编码器，实时反馈电机的位置与转速信息
  • 工作电压：DC 48V，适配设备的供电系统
• 功能特点
  • 采用矢量控制技术，电机运行平稳，噪音低，振动小，避免对晶圆造成损伤
  • 具备过载、过流、过温保护功能，保障电机在复杂工况下的安全运行
  • 响应速度快，从启动到额定转速的时间≤0.5 秒，提升晶圆传送效率
  • 具备低速大扭矩特性，可在低速运行时提供稳定的动力输出，适配晶圆的精准放置需求
• 应用场景：专门用于 AMAT 300mm 晶圆传送系统，适配 Endura、Centura 等系列设备，应用于半导体晶圆制造的光刻、刻蚀、沉积等工艺环节的晶圆传送，尤其适用于 14nm 以下先进工艺中对传送速度与精度要求高的场景，保障晶圆生产流程的高效与稳定。