• 产品名称：真空阀门（Vacuum Valve）
• 产品简介：该产品是半导体真空系统中的关键控制部件，用于控制真空腔室与真空管路的通断，调节腔室的真空度，适配 AMAT 多款真空工艺设备，是保障半导体工艺中真空环境稳定的重要组件。
• 技术规格
  • 阀门类型：气动式真空挡板阀
  • 适配真空范围：10^5 Torr 至 10^-9 Torr，可覆盖从大气到超高真空的全范围真空环境
  • 阀体材质：316L 不锈钢，耐腐蚀，适配多种工艺环境
  • 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶，保障阀门的密封性能
  • 通径尺寸：50mm，满足真空系统的气体流量需求
  • 开关响应时间：≤1 秒，快速控制真空腔室的通断
  • 工作压力：0-0.8MPa，适配气动控制系统的压力要求
• 功能特点
  • 采用气动驱动方式，结构简单，运行可靠，维护成本低
  • 具备阀门位置反馈功能，可实时监测阀门的开关状态，保障工艺的安全性
  • 阀门开关次数可达 10^6 次以上，使用寿命长，减少更换频率
  • 支持远程控制与本地控制两种方式，适配不同的操作需求
• 应用场景：广泛应用于 AMAT 的刻蚀、沉积、CMP 等真空工艺设备，适配半导体晶圆制造的全流程，尤其适用于对真空度控制要求高的先进工艺，如 14nm 以下节点的沉积与刻蚀工艺，保障真空系统的稳定运行，提升产品的良率与一致性。