• 产品名称：射频匹配网络控制电路板（RF Match Network Control Board）
• 产品简介：该电路板是半导体设备射频系统的核心控制部件，用于调控射频匹配网络的参数，实现射频电源与等离子体负载之间的高效阻抗匹配，减少射频能量反射，保障等离子体工艺的稳定性，适配 AMAT 多款中高功率射频设备。
• 技术规格
  • 适配射频频率：13.56MHz，兼容半导体工艺主流射频频段
  • 功率适配范围：0-6000W，满足高功率等离子体工艺需求
  • 阻抗调节范围：5Ω - 1000Ω，可覆盖不同工艺负载的阻抗变化
  • 控制接口：EtherCAT 工业以太网接口，数据传输速率 100Mbps，支持实时控制
  • 工作电压：DC 24V ±5%，功耗≤30W
  • 工作温度：0℃至 50℃，适配半导体洁净厂房环境
• 功能特点
  • 内置高速数字信号处理器（DSP），匹配参数调节响应时间≤20ms，快速适配负载动态变化
  • 具备射频能量反射监测功能，当驻波比超过 1.5 时自动切断射频输出，保护核心部件
  • 支持多组工艺参数存储，可快速切换不同工艺配方，提升设备工艺灵活性
  • 具备故障自诊断功能，可实时监测电路板工作状态，通过指示灯与数据报警反馈故障类型
• 应用场景：适用于 AMAT Producer 系列 PECVD 设备、Premier 系列刻蚀设备，应用于 300mm 晶圆的逻辑芯片、存储芯片制造中的等离子体刻蚀、薄膜沉积等工艺，尤其适配 14nm 以下先进工艺中对射频匹配精度要求高的场景。