• 产品名称：工艺气体流量控制电路板（MFC Control Board）
• 产品简介：该电路板是半导体设备气体输送系统的核心控制部件，用于驱动与控制多通道质量流量控制器（MFC），实现工艺气体流量的精准调节，保障工艺过程中气体比例的稳定性，是影响半导体薄膜沉积与刻蚀精度的关键组件。
• 技术规格
  • 通道数量：支持 8 路独立 MFC 控制，适配多气体混合工艺需求
  • 流量控制精度：±0.5% 满量程，重复性 ±0.1% 满量程
  • 信号输入输出：支持 4-20mA 模拟信号与 RS485 数字信号，适配主流 MFC 通信协议
  • 工作电压：DC 12V ±5%，单通道功耗≤2W
  • 数据更新频率：100Hz，实时反馈流量控制数据
  • 工作温度：-10℃至 60℃，适配设备控制柜环境
• 功能特点
  • 内置流量校准算法，可自动修正不同气体类型的流量偏差，提升流量控制精度
  • 具备气体泄漏监测功能，通过流量异常分析判断管路泄漏，及时触发报警
  • 支持工艺配方存储，可存储 100 组以上气体流量参数，快速切换工艺
  • 具备故障诊断功能，可实时监测 MFC 与电路板的工作状态，快速定位故障
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura 系列刻蚀与沉积设备，应用于 300mm 晶圆制造中的 CVD、PVD、刻蚀等工艺，保障逻辑芯片、功率器件、MEMS 传感器等产品生产中工艺气体的精准控制，提升产品良率与一致性。