• 产品名称：晶圆传送系统真空隔离阀（Vacuum Isolation Valve）
• 产品简介：该阀门是 AMAT 晶圆传送系统中的关键部件，用于隔离不同真空区域，保障工艺腔室的真空稳定性，适配 300mm 晶圆传送系统，是实现晶圆在不同工艺模块间安全传送的核心组件。
• 技术规格
  • 通径尺寸：150mm，满足晶圆传送通道的尺寸需求
  • 真空密封等级：关闭状态下泄漏率≤1×10^-10 Torr・L/s
  • 适配真空范围：10^5 Torr 至 10^-9 Torr，覆盖大气至超高真空全范围
  • 开关响应时间：≤0.8 秒，快速实现真空隔离
  • 阀体材质：316L 不锈钢，具备良好的抗腐蚀性
  • 密封材质：全氟醚橡胶（FFKM），耐高低温与腐蚀性气体
  • 开关寿命：≥10^6 次，保障长期稳定使用
• 功能特点
  • 采用气动驱动方式，结构简单可靠，维护成本低
  • 具备阀门位置反馈功能，通过限位传感器实时反馈阀门开关状态，保障工艺安全
  • 支持远程控制与本地控制两种模式，适配不同操作场景
  • 内置防尘结构，防止颗粒污染物进入真空系统，保障晶圆加工环境洁净度
• 应用场景：适配 AMAT 300mm 晶圆传送系统，用于 Endura、Centura 等系列设备的工艺腔室与传送腔室之间的真空隔离，应用于半导体晶圆制造的光刻、刻蚀、沉积等工艺环节，保障不同工艺模块的真空独立性，提升产品良率。