• 产品名称：工业机器人控制器（Robot Controller）
• 产品简介：该控制器是 AMAT 晶圆传送系统的核心控制部件，用于驱动与控制晶圆传送机械臂的运动，实现晶圆的精准抓取与传送，适配 300mm 晶圆传送系统，是保障晶圆传送效率与精度的关键设备。
• 技术规格
  • 控制轴数：6 轴，适配多关节晶圆传送机械臂
  • 位置控制精度：±0.01mm，保障晶圆传送的精准定位
  • 运动控制频率：1000Hz，实时响应机械臂运动指令
  • 通信接口：支持 EtherCAT、Profinet 等工业以太网协议，数据传输速率 1Gbps
  • 工作电压：AC 220V ±10%，功耗≤500W
  • 工作温度：0℃至 40℃，适配半导体洁净厂房环境
• 功能特点
  • 内置轨迹规划算法，可实现机械臂的平滑运动，减少晶圆的振动与冲击
  • 具备多任务处理能力，可同时控制多个机械臂协同工作，提升传送效率
  • 支持工艺参数自定义设置，可适配不同的传送路径与速度需求
  • 具备故障自诊断与报警功能，可快速定位机械臂运动故障，保障设备安全
• 应用场景：适配 AMAT 300mm 晶圆传送系统，用于 Endura、Centura 等系列设备的晶圆传送环节，应用于半导体晶圆制造的光刻、刻蚀、沉积等工艺之间的晶圆转运，尤其适用于 14nm 以下先进工艺中对传送精度与效率要求高的场景。