• 产品名称：射频匹配器控制模块
• 产品简介：该模块是 AMAT 半导体设备射频系统的核心控制单元，用于调控射频匹配器的阻抗匹配参数，实现射频电源与等离子体负载的高效能量传输，适配 13.56MHz 主流射频频段，能实时响应等离子体负载的动态变化，是保障等离子体工艺稳定性的关键部件。
• 技术规格
  • 适配射频频率：13.56MHz，兼容设备主流射频系统
  • 功率适配范围：0-6000W，满足中高功率等离子体工艺需求
  • 阻抗匹配调节范围：5Ω - 800Ω，适配不同工艺负载阻抗变化
  • 匹配响应时间：≤30ms，快速适配等离子体负载波动
  • 控制接口：EtherCAT 工业以太网接口，数据传输速率 100Mbps
  • 工作电压：DC 24V ±5%，功耗≤25W
  • 工作温度范围：0℃至 55℃，适配设备控制柜环境
• 功能特点
  • 内置高速数字信号处理器（DSP），搭载自适应匹配算法，无需人工干预即可完成动态阻抗匹配
  • 具备驻波比实时监测功能，驻波比超过 1.2 时自动切断射频输出，保护射频电源与匹配器核心部件
  • 支持 100 组工艺参数存储，可快速切换不同工艺配方，提升设备工艺灵活性
  • 具备故障自诊断功能，可精准定位电路故障点，缩短设备维护时间
• 应用场景：适配 AMAT Producer、Premier 系列等离子体刻蚀与沉积设备，应用于 300mm 晶圆的逻辑芯片、存储芯片制造，尤其适用于高深宽比刻蚀、ALD 原子层沉积等对射频能量传输效率要求高的工艺环节，保障等离子体密度均匀性与工艺重复性。