• 产品名称：工艺腔室密封圈组件
• 产品简介：该组件是 AMAT 真空工艺腔室的核心密封部件，用于密封腔室门与腔体法兰，防止外界气体渗入与工艺气体泄漏，适配多款 300mm 晶圆刻蚀、沉积设备，能耐受腐蚀性工艺气体与高低温环境，对保障工艺腔室真空稳定性与安全性至关重要。
• 技术规格
  • 适配腔室类型：等离子体刻蚀腔室、CVD 沉积腔室等真空工艺腔室
  • 真空密封等级：保障腔室达到 10^-9 Torr 超高真空
  • 材质：密封圈采用全氟醚橡胶（FFKM），金属骨架为 316L 不锈钢
  • 工作温度范围：-55℃至 220℃，适配高低温工艺
  • 密封压力范围：0-10MPa，承受腔室压力变化
  • 尺寸：适配 AMAT 标准 300mm 腔室法兰，外径 320mm，内径 280mm，厚度 20mm
  • 使用寿命：≥5000 次工艺循环
• 功能特点
  • 密封圈表面采用纳米涂层处理，提升耐磨性与抗粘性，延长使用寿命
  • 金属骨架增强密封圈结构稳定性，避免安装与使用过程中变形
  • 多唇口密封设计，密封性能优异，即使局部损伤仍能维持基础密封
  • 安装便捷，无需专用工具，降低维护时间
• 应用场景：适配 AMAT Endura、Centura 等系列设备，应用于 300mm 晶圆的刻蚀、沉积等工艺，尤其适用于含氟、氯等腐蚀性气体的工艺环境，保障工艺腔室真空稳定性，提升产品良率。