• 产品名称：MM - 6500 微型存储控制板组件
• 产品简介：该组件是 AMAT 半导体设备控制系统的核心存储部件，型号为 MM - 6500 REV.B，集成 64K 存储容量，用于存储设备工艺配方、运行参数及故障记录等关键数据，适配多款 AMAT 刻蚀、沉积设备的主控系统，是保障设备数据存储与快速调用的关键组件。
• 技术规格
  • 存储容量：64K，满足设备基础数据存储需求
  • 数据传输接口：并行数据总线接口，传输速率 10Mbps
  • 工作电压：DC 5V ±5%，功耗≤10W
  • 工作温度范围：0℃至 50℃，适配设备控制柜环境
  • 数据读写速度：读速度≥100ns，写速度≥200ns
  • 兼容性：适配 AMAT 设备专用控制系统，支持数据备份与恢复
  • 使用寿命：≥50000 小时连续工作
• 功能特点
  • 具备数据掉电保护功能，内置备用电池，断电后可保存数据≥72 小时
  • 支持多组工艺配方存储，可快速切换不同工艺参数，提升设备灵活性
  • 数据读写响应迅速，保障设备控制系统的指令执行效率
  • 具备数据校验功能，自动检测数据存储错误，保障数据准确性
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura 等系列半导体设备的主控单元，应用于 300mm 晶圆制造的刻蚀、沉积、CMP 等工艺，用于存储工艺配方、设备运行日志及故障信息，保障设备在不同工艺需求下稳定运行，同时为设备维护提供数据支撑。