• 产品名称：射频功率分配器
• 产品简介：该产品是 AMAT 半导体设备射频系统的核心部件，用于将射频电源输出的能量均匀分配至多组等离子体负载，适配 13.56MHz 主流射频频段，保障多腔室或多电极设备的射频能量均衡，是提升等离子体工艺一致性的关键组件。
• 技术规格
  • 适配射频频率：13.56MHz，兼容半导体工艺主流频段
  • 功率分配范围：0-5000W，支持多通道功率分配
  • 分配通道数量：4 路，每路功率分配误差≤2%
  • 输入输出阻抗：50Ω，保障射频能量高效传输
  • 工作温度范围：-10℃至 60℃，适配设备射频系统环境
  • 材质：外壳为铝合金，内部传输线为无氧铜，具备良好导电性
  • 接口类型：N 型射频接口，连接稳定可靠
• 功能特点
  • 采用微带线功率分配结构，分配精度高，能量损耗≤0.5dB
  • 具备功率监测功能，实时反馈每路输出功率，便于精准调控
  • 抗干扰能力强，有效屏蔽外部电磁信号对射频传输的影响
  • 结构紧凑，安装便捷，适配设备内部狭小空间
• 应用场景：适用于 AMAT Producer 系列 PECVD 设备、Premier 系列刻蚀设备，应用于 300mm 晶圆的逻辑芯片、存储芯片制造中的多腔室等离子体工艺，尤其适配 14nm 以下先进工艺中对多电极射频能量均衡要求高的场景，保障晶圆各区域工艺一致性。