• 产品名称：高精度静电卡盘电源模块
• 产品简介：该模块是 AMAT 静电卡盘（ESC）的配套核心电源部件，专为 300mm 晶圆工艺设计，用于提供稳定的静电吸附电压，同时实现卡盘温度的辅助控制，适配多款 AMAT 刻蚀与沉积设备的静电卡盘，是保障晶圆稳固夹持与温度均匀性的关键组件。
• 技术规格
  • 输出电压：DC 0-2500V，电压调节精度 ±10V
  • 输出电流：0-50mA，满足静电卡盘吸附电流需求
  • 温度控制范围：-30℃至 180℃，适配不同工艺温度需求
  • 电压纹波：≤0.5%，保障吸附电压稳定
  • 工作电压：AC 380V ±10%，功率≤500W
  • 通信接口：RS485 数字接口，支持与设备主控系统通信
  • 防护等级：IP20，适配工业环境
• 功能特点
  • 采用闭环反馈控制技术，实时调节输出电压，保障吸附力稳定
  • 具备过压、过流、过温三重保护功能，保护静电卡盘与晶圆安全
  • 支持电压与温度联动控制，适配不同工艺的夹持与温控需求
  • 内置故障诊断模块，可快速定位电源故障，缩短维护时间
• 应用场景：适配 AMAT Endura G3、Centura 等系列设备的静电卡盘，应用于 300mm 晶圆的刻蚀、CVD、ALD 等工艺，广泛用于逻辑芯片、NAND Flash、DRAM 存储芯片的制造，尤其适用于 14nm 以下先进工艺中对晶圆夹持稳定性与温度均匀性要求极高的环节。