• 产品名称：晶圆传送机械臂驱动电机
• 产品简介：该电机是 AMAT 300mm 晶圆传送系统的核心驱动部件，为机械臂的旋转、伸缩等运动提供动力，适配多款 AMAT 刻蚀、沉积设备的传送模块，具备高精度与高稳定性，是保障晶圆高效、精准传送的关键组件。
• 技术规格
  • 电机类型：伺服电机，具备位置与速度闭环控制
  • 额定功率：1.0kW，额定转速 3000rpm
  • 扭矩范围：0-5N・m，扭矩调节精度 ±0.01N・m
  • 位置控制精度：±0.01°，保障机械臂精准定位
  • 工作电压：AC 220V ±10%，频率 50/60Hz
  • 防护等级：IP54，适配半导体洁净厂房环境
  • 使用寿命：≥10000 小时连续运行
• 功能特点
  • 采用永磁同步电机设计，效率高，能耗低，运行噪音≤60dB
  • 具备过载保护功能，防止电机因负载过大损坏
  • 支持与机械臂控制器协同工作，实现运动轨迹精准规划
  • 具备快速启停功能，提升晶圆传送效率，适配高产能生产需求
• 应用场景：适配 AMAT 300mm 晶圆传送系统，用于 Endura、Centura 等设备的光刻、刻蚀、沉积工艺间晶圆传送，广泛应用于 14nm 以下逻辑芯片、3D NAND 存储芯片制造，尤其适配超高真空环境下的晶圆转运作业，保障晶圆生产流程的连续性与良率稳定性。