• 产品名称：设备安全联锁开关
• 产品简介：该开关是 AMAT 半导体设备的核心安全部件，用于监测设备门盖、模块等关键部件的开关状态，与设备控制系统联动，当部件未正确关闭或安装时触发安全联锁机制，阻止设备运行，保障操作人员与设备的安全，适配多款 AMAT 刻蚀、沉积设备。
• 技术规格
  • 开关类型：机械接触式安全联锁开关，具备强制断开功能
  • 额定电压：AC 220V，额定电流：10A
  • 触点寿命：≥10^6 次，保障长期稳定使用
  • 工作温度范围：-10℃至 60℃，适配工业环境
  • 防护等级：IP65，防尘防水，适配设备外部安装
  • 触发方式：门盖关闭时自动触发，安装位置精准
  • 输出信号：常开 / 常闭触点信号，支持与控制系统联动
• 功能特点
  • 采用冗余设计，双触点结构，提升安全联锁的可靠性
  • 具备状态反馈功能，实时向设备主控系统传输开关状态
  • 抗干扰能力强，不受设备电磁环境影响，保障信号稳定
  • 安装便捷，适配设备不同位置的安装需求
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura、Reflexion 等全系列半导体设备，用于设备工艺腔室门、控制柜门、模块槽位等关键部位的状态监测，应用于半导体晶圆制造全流程，保障设备在安全状态下运行，避免因误操作导致的人员伤害与设备损坏。