• 产品名称：设备冷却系统热交换器
• 产品简介：该热交换器是 AMAT 半导体设备冷却系统的核心部件，用于实现冷却介质与设备发热部件的热量交换，保障设备射频电源、工艺腔室、电机等部件的温度稳定，适配多款 AMAT 刻蚀、沉积、CMP 设备，是设备长期稳定运行的基础保障组件。
• 技术规格
  • 换热面积：2m²，满足设备散热需求
  • 流量范围：0-80L/min，适配不同冷却需求
  • 工作压力：0-1.0MPa，适配冷却系统压力
  • 材质：换热管采用 316L 不锈钢，外壳为铝合金材质
  • 换热效率：≥90%，保障热量快速传递
  • 工作温度范围：5℃至 60℃，适配冷却介质温度
  • 使用寿命：≥10000 小时连续运行
• 功能特点
  • 采用壳管式换热结构，换热效率高，结构稳定可靠
  • 具备防腐蚀涂层，延长换热管使用寿命，适配多种冷却介质
  • 支持并联与串联安装，适配不同设备的冷却系统设计
  • 内置温度监测模块，实时反馈换热效果，便于系统调节
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura、Reflexion 等系列设备，用于射频电源、静电卡盘、抛光垫修整器等部件的冷却，应用于半导体晶圆制造全流程，尤其适用于高功率等离子体刻蚀与高速 CMP 抛光等发热量大的工艺环节，保障设备稳定运行。