• 产品名称：气体流量控制器校准套件
• 产品简介：这是一款专为应用材料气体流量控制设备设计的校准工具套装，用于定期校准设备中的质量流量控制器（MFC），确保气体流量控制精度，保障半导体工艺中气体流量的准确性和稳定性，该套件包含校准所需的标准件、连接部件及操作配件，适配多种型号的 AMAT 气体流量控制器。
• 技术规格：
  • 校准精度可达 ±0.1% 满量程，远超行业标准，满足先进半导体工艺的严苛要求。
  • 适配气体类型涵盖 SiH4、NH3、O2、Ar 等半导体制造常用工艺气体。
  • 工作压力范围 0-10bar，适配不同工艺条件下的压力环境。
  • 标准件采用高精度合金材质，确保长期使用过程中校准基准的稳定性。
  • 连接接口适配 AMAT 标准 MFC 接口，密封性良好，无气体泄漏风险。
• 功能特点：
  • 套件包含完整校准流程所需部件，无需额外采购配件，开箱即可使用。
  • 校准操作流程标准化，搭配专用校准软件，简化操作步骤，降低对操作人员专业技能的要求。
  • 校准数据可自动记录并生成报告，便于追溯和质量管控。
  • 标准件具备自校验功能，可定期验证自身精度，保障校准结果可靠。
• 应用场景：用于半导体晶圆厂的设备维护部门，对沉积、刻蚀等工艺设备中的气体流量控制器进行定期校准，适用于中芯国际、台积电等半导体制造企业的 200mm、300mm 晶圆生产线，保障工艺稳定性和产品良率。