• 产品名称：真空压力传感器
• 产品简介：该传感器是应用材料为半导体真空设备研发的高精度压力测量部件，用于实时监测半导体工艺腔室、真空管路等部位的真空度，为设备控制系统提供精准的压力数据，保障真空工艺稳定进行，具备测量精度高、响应速度快等特点，适配多款 AMAT 真空设备及工艺模块。
• 技术规格：
  • 测量范围 10^-9mbar 至 1bar，覆盖半导体真空工艺全压力区间。
  • 测量精度 ±0.5% 读数，在低真空和高真空区间均保持高精度。
  • 响应时间小于 10ms，可实时捕捉压力动态变化。
  • 输出信号为 4-20mA 标准模拟信号，便于与设备控制系统对接。
  • 工作温度范围 - 20℃至 85℃，适应设备不同部位的温度环境。
  • 采用金属密封结构，真空泄漏率小于 1×10^-10mbar・L/s。
• 功能特点：
  • 采用电容式传感原理，抗干扰能力强，不受工艺气体成分影响。
  • 具备温度补偿功能，在不同温度环境下测量精度保持稳定。
  • 传感器探头采用耐腐蚀合金材质，可耐受半导体工艺中腐蚀性气体。
  • 内置自诊断功能，可实时监测自身工作状态，及时预警故障。
• 应用场景：应用于半导体制造设备的真空系统，如晶圆传输腔、反应腔室、真空泵组等部位，可用于刻蚀、沉积、离子注入等多种工艺设备，为真空控制系统提供精准数据，保障工艺顺利进行。