• 产品名称：机器人传输臂末端执行器
• 产品简介：该末端执行器是半导体晶圆传输机器人的关键部件，用于精准抓取和搬运晶圆，适配应用材料多款自动化晶圆传输系统，具备高定位精度和稳定的抓取能力，可有效避免晶圆在传输过程中产生损伤，保障晶圆传输环节的高效与安全。
• 技术规格：
  • 适配晶圆尺寸涵盖 200mm、300mm，兼容不同厚度的晶圆。
  • 定位精度可达 ±0.01mm，满足半导体制造中高精度传输要求。
  • 材质采用轻质高强度碳纤维复合材料，重量轻且刚性强，减少机器人负载。
  • 抓取方式为真空吸附，吸附压力 0.02-0.08MPa，确保晶圆稳定抓取无脱落。
  • 重复定位精度 ±0.005mm，保障多次传输的一致性。
  • 工作温度范围 - 20℃至 80℃，适配洁净室环境。
• 功能特点：
  • 真空吸附系统具备压力监测功能，实时反馈吸附状态，避免晶圆掉落风险。
  • 表面采用防静电涂层，防止静电对晶圆上的微电子器件造成损伤。
  • 结构设计紧凑，可适配狭窄的晶圆传输通道，提高设备空间利用率。
  • 具备碰撞保护功能，当发生意外碰撞时，自动停止动作，保护晶圆和设备。
• 应用场景：应用于半导体晶圆制造的光刻、刻蚀、沉积等工序之间的晶圆传输，如 EFEM（设备前端模块）中的晶圆传输机器人，以及晶圆存储、搬运等自动化设备，适用于 12 英寸晶圆生产线的自动化传输流程。