• 产品名称：电源分配模块
• 产品简介：该模块是应用材料半导体设备的核心供电部件，用于将外部输入电源进行分配、稳压和保护，为设备各功能模块提供稳定可靠的电力供应，具备过流、过压、短路等多重保护功能，保障设备在复杂工况下的稳定运行，适配多款 AMAT 半导体工艺设备。
• 技术规格：
  • 输入电压范围 200-480V AC，频率 50/60Hz，适配不同地区供电标准。
  • 输出通道数量为 8 路，每路输出电压可根据需求调节，输出电压精度 ±1%。
  • 单路输出电流最大可达 50A，满足设备大功率部件供电需求。
  • 转换效率高达 95% 以上，降低能耗，减少发热。
  • 保护响应时间小于 10μs，可快速切断故障电路，保护设备部件。
  • 工作温度范围 0-50℃，具备良好的散热性能。
• 功能特点：
  • 模块化设计，便于维护和更换，可快速排查和解决供电故障。
  • 具备电压、电流实时监测功能，数据可上传至设备控制系统，便于远程监控。
  • 多重保护机制，包括过流、过压、欠压、短路、过热保护等，全面保障设备安全。
  • 抗干扰能力强，可抵御工业环境中的电磁干扰，保障供电稳定性。
• 应用场景：适用于半导体制造设备的整体供电系统，如刻蚀机、沉积设备、离子注入机等，为设备的射频电源、加热模块、控制系统等提供稳定电力，保障设备各模块协同高效运行。