• 产品名称：半导体设备自动化控制系统数据采集模块
• 产品简介：该模块是应用材料半导体设备自动化系统的关键部件，负责采集设备各传感器、执行器的实时数据，包括温度、压力、流量、位置等参数，同时将控制指令下发至执行机构，实现设备工艺过程的闭环控制，适配 AMAT 全系列半导体工艺设备，是设备自动化运行的核心数据枢纽。
• 技术规格：
  • 数据采集通道数量 32 路，包含模拟量输入 16 路、数字量输入 16 路，支持多路数据并行采集。
  • 模拟量采集精度 ±0.02%，采样率可达 100kHz，确保数据采集的精准性和实时性。
  • 数字量输入输出支持 24V DC，兼容 NPN/PNP 两种信号类型，适配多种执行器。
  • 通信接口支持 EtherCAT、Ethernet/IP 等高速工业总线，数据传输速率可达 1Gbps。
  • 工作温度范围 0℃至 60℃，适应半导体洁净室环境。
  • 存储容量 8GB，可存储 1 年以上的工艺数据，便于数据追溯和分析。
• 功能特点：
  • 支持数据预处理功能，可对采集数据进行滤波、校准，提高数据准确性。
  • 具备数据异常报警功能，当参数超出设定范围时，及时触发声光报警并记录故障信息。
  • 支持数据同步上传至工厂 MES 系统，实现工艺数据的集中管理和分析。
  • 模块具备热插拔功能，可在设备运行状态下更换，不影响其他模块工作。
  • 内置冗余设计，关键电路双重备份，保障数据采集和传输的可靠性。
• 应用场景：应用于半导体刻蚀、沉积、CMP、光刻等全系列工艺设备的控制系统，适配 200mm、300mm 晶圆生产线，实现工艺参数实时监控、设备自动化运行和故障预警，保障半导体制造过程的稳定性和一致性。