• 产品名称：半导体设备数字输入输出控制模块
• 产品简介：这是应用材料研发的工业级数字输入输出控制模块，专为半导体设备设计，用于连接设备的各类传感器与执行器，实现数字信号的精准采集和控制指令的高效下发，适配 AMAT 全系列半导体工艺设备，是设备自动化控制系统的关键接口部件，保障设备各模块协同精准运行。
• 技术规格：
  • 输入通道数 32 路，输出通道数 32 路，支持数字信号的并行处理，满足设备多部件控制需求。
  • 输入信号类型为 24V DC，兼容 NPN/PNP 两种极性，适配不同类型传感器。
  • 输出信号类型为 24V DC，每路输出电流可达 2A，可直接驱动小型执行器。
  • 响应时间小于 1ms，保障信号快速传输，适配设备实时控制需求。
  • 工作温度范围 - 20℃至 60℃，适应半导体设备严苛的工作环境。
  • 抗电磁干扰能力符合 IEC 61000-4-4 标准，保障信号传输稳定。
• 功能特点：
  • 具备通道短路保护功能，当输出通道短路时，自动切断电路，保护模块和外部设备。
  • 支持通道状态实时监测，可通过通信接口上传各通道工作状态，便于故障排查。
  • 采用模块化设计，安装便捷，可通过导轨快速固定，维护简单。
  • 支持热插拔，可在设备运行时更换模块，不影响其他部件工作，降低停机时间。
  • 通信接口兼容 EtherCAT、Modbus 等工业总线，可无缝接入设备控制系统。
• 应用场景：应用于半导体刻蚀设备的腔室门开关控制、晶圆传输机器人的位置信号采集、沉积设备的工艺气体阀门控制等场景，适配 200mm、300mm 晶圆生产线，保障设备自动化流程的顺畅高效，提升工艺稳定性。