• 产品名称：半导体设备真空隔离阀
• 产品简介：这是应用材料专为半导体真空系统设计的真空隔离阀，用于隔离真空腔室与管路，保障腔室真空环境稳定，适配多种型号的 AMAT 真空设备，具备密封性能好、开关速度快等特点，能有效防止真空泄漏，是半导体设备真空系统的关键部件。
• 技术规格：
  • 适用真空度范围 1×10^-9mbar 至 1bar，覆盖半导体真空工艺全压力区间。
  • 阀门口径为 2 英寸，适配半导体设备标准真空管路尺寸。
  • 开关时间小于 2 秒，可快速实现真空腔室的隔离与连通，适配工艺快速切换需求。
  • 密封材质为 PTFE，真空泄漏率小于 1×10^-10mbar・L/s，保障密封效果。
  • 阀体材质为 316L 不锈钢，具备良好的耐腐蚀性，适配真空系统复杂环境。
  • 工作温度范围 - 10℃至 80℃，适应设备不同部位的温度环境。
• 功能特点：
  • 采用气动驱动方式，开关动作平稳，无冲击，延长阀门使用寿命。
  • 具备阀门位置反馈功能，可实时反馈阀门开关状态，便于设备控制系统监控。
  • 结构设计紧凑，安装空间小，适配设备狭小的安装环境。
  • 具备手动应急开关功能，当设备断电时，可手动操作阀门，保障设备安全。
  • 维护便捷，密封件可快速更换，降低维护成本。
• 应用场景：安装在半导体晶圆传输腔与反应腔之间、反应腔与真空泵组之间的管路中，用于刻蚀、沉积、离子注入等设备的真空系统，适配 200mm、300mm 晶圆生产线，保障真空系统稳定运行，提升工艺质量。