• 产品名称：半导体设备直流稳压电源模块
• 产品简介：该直流稳压电源模块是应用材料为半导体设备设计的专用供电部件，用于为设备的控制系统、传感器、执行器等提供稳定的直流电源，具备高精度稳压性能和多重保护功能，适配多款 AMAT 半导体工艺设备，保障设备各部件稳定供电，是设备可靠运行的基础部件。
• 技术规格：
  • 输入电压范围 180-264V AC，频率 50/60Hz，适配不同地区供电标准。
  • 输出电压为 24V DC，输出电流可达 20A，满足设备多部件供电需求。
  • 电压调节精度 ±0.05%，纹波系数小于 0.01%，保障供电质量。
  • 转换效率高达 94%，降低能耗，减少设备发热。
  • 工作温度范围 0℃至 50℃，具备良好的散热性能。
  • 具备过压、过流、短路、过热等多重保护功能，保护响应时间小于 5μs。
• 功能特点：
  • 采用高频开关电源技术，体积小、重量轻，便于安装在设备控制柜中。
  • 支持电压电流实时监测，数据可通过通信接口上传至设备控制系统，便于监控。
  • 输出电压可通过上位机软件微调，适配不同部件的供电需求。
  • 模块化设计，维护方便，可快速更换故障模块，降低停机时间。
  • 具备冗余设计，可多模块并联使用，提高供电可靠性。
• 应用场景：用于半导体设备的控制系统供电、晶圆传输机器人的控制电路供电、传感器的数据采集电路供电等，适配 200mm、300mm 晶圆生产线的刻蚀、沉积、CMP 等各类设备，保障设备供电稳定，提升运行可靠性。