• 产品名称：半导体晶圆传输机器人导轨组件
• 产品简介：该导轨组件是半导体晶圆传输机器人的关键运动部件，用于引导机器人传输臂精准运动，适配应用材料 EFEM 等系列自动化传输系统，具备高精度、高刚性特点，能保障晶圆传输过程中的定位精度和稳定性，避免晶圆损伤，是提升晶圆传输效率的核心部件。
• 技术规格：
  • 适配 300mm 晶圆传输机器人，导轨长度根据设备型号定制，误差 ±0.1mm。
  • 定位精度可达 ±0.005mm，满足半导体晶圆高精度传输需求。
  • 材质采用高硬度合金钢，表面经过淬火处理，硬度高达 HRC60 以上，耐磨性能优异。
  • 导轨直线度误差小于 0.01mm/m，保障传输臂运动平稳。
  • 最大承载重量 5kg，可满足晶圆及传输部件的重量需求。
  • 工作温度范围 - 10℃至 50℃，适应半导体洁净室环境。
• 功能特点：
  • 采用滚动摩擦设计，摩擦系数小，运动阻力低，减少机器人能耗，延长使用寿命。
  • 具备防尘密封结构，防止半导体洁净室中的微小颗粒进入导轨内部，影响运动精度。
  • 安装结构简单，采用螺栓固定，可快速安装调试。
  • 维护周期长，无需频繁润滑，降低维护成本。
  • 抗振动性能强，在设备运行过程中保持稳定，保障晶圆传输精准。
• 应用场景：应用于半导体晶圆传输机器人的水平运动导轨、垂直升降导轨等部位，适配 200mm、300mm 晶圆生产线的 EFEM 设备，用于晶圆在光刻、刻蚀、沉积等工序之间的传输，保障晶圆传输高效、精准、安全。