• 产品名称：半导体设备信号调理模块
• 产品简介：该信号调理模块是应用材料半导体设备的关键信号处理部件，用于对传感器采集的微弱信号进行放大、滤波、校准等处理，将信号转换为设备控制系统可识别的标准信号，适配多款 AMAT 半导体工艺设备，保障信号传输的准确性和稳定性，是设备精准控制的重要前置部件。
• 技术规格：
  • 信号输入类型包括电压、电流、电阻等多种模拟信号，适配不同类型传感器。
  • 信号放大倍数可在 1-1000 倍之间调节，满足不同微弱信号的放大需求。
  • 滤波频率范围 0.1Hz-100kHz，可有效去除信号中的噪声干扰。
  • 输出信号为 4-20mA 模拟信号或 0-10V 模拟信号，适配设备控制系统。
  • 测量精度 ±0.05%，保障信号处理的精准性。
  • 工作温度范围 - 10℃至 50℃，适应半导体设备工作环境。
• 功能特点：
  • 具备信号校准功能，可通过软件对信号进行零点和满量程校准，保障测量精度。
  • 支持多通道信号并行处理，最多可同时处理 16 路信号，提高信号处理效率。
  • 内置过压保护功能，当输入信号超出量程时，自动切断输入，保护模块。
  • 通信接口支持 RS-485，可与上位机软件连接，实现信号参数远程调整。
  • 模块化设计，体积小，安装灵活，可适配设备狭小空间。
• 应用场景：应用于半导体设备的温度传感器信号处理、压力传感器信号放大、流量传感器信号滤波等场景，适配刻蚀、沉积、CMP 等工艺设备，保障传感器信号准确传输至控制系统，提升设备工艺参数控制精度。