• 产品名称：半导体设备通信扩展模块
• 产品简介：该通信扩展模块是应用材料专为半导体设备设计的网络通信部件，用于扩展设备的通信接口，实现设备与工厂 MES 系统、上位机等外部设备的高速数据交互，适配 AMAT 全系列半导体工艺设备，支持多种工业通信协议，是实现设备智能化、信息化管理的关键部件。
• 技术规格：
  • 支持通信协议包括 EtherNet/IP、Profinet、Modbus TCP 等多种工业标准协议。
  • 网络接口为 2 个千兆以太网端口，支持网络冗余，保障数据传输可靠。
  • 数据传输速率可达 1Gbps，满足设备大量工艺数据快速传输需求。
  • 支持最多 32 个设备节点接入，实现多设备集中通信管理。
  • 工作温度范围 0℃至 40℃，适应半导体洁净室环境。
  • 电源输入为 24V DC，功耗小于 10W，节能环保。
• 功能特点：
  • 具备数据路由功能，可实现不同协议之间的数据转换，保障设备与外部系统兼容。
  • 支持数据加密传输，采用 AES-256 加密算法，保障工艺数据安全。
  • 具备网络故障诊断功能，可实时监测网络连接状态，及时预警故障。
  • 采用无风扇设计，运行噪音低，适配洁净室静音环境。
  • 安装方式灵活，可采用导轨安装或壁挂安装，适配不同设备控制柜结构。
• 应用场景：应用于半导体工厂的 200mm、300mm 晶圆生产线，用于刻蚀、沉积、CMP 等设备与 MES 系统的数据交互，实现工艺数据实时上传、远程监控和设备集中管理，提升工厂生产效率和管理水平。