• 产品名称：半导体设备真空节流阀组件
• 产品简介：该真空节流阀是应用材料专为半导体真空系统设计的流量控制部件，用于精确调节真空腔室的抽气流量，适配多种型号的 AMAT 真空设备，具备高精度流量调节和稳定密封性能，能有效控制腔室真空度，是半导体设备真空系统的关键部件，保障工艺过程中真空环境稳定。
• 技术规格：
  • 适用真空度范围 1×10^-9mbar 至 1bar，覆盖半导体真空工艺全压力区间。
  • 阀门口径为 3 英寸，适配半导体设备标准真空管路尺寸。
  • 流量调节精度 ±1%，保障真空度控制精准。
  • 开关时间小于 1.5 秒，可快速响应工艺真空度调整需求。
  • 密封材质为金属波纹管，真空泄漏率小于 1×10^-11mbar・L/s，密封效果优异。
  • 阀体材质为 316L 不锈钢，耐腐蚀性强，适配复杂工艺环境。
• 功能特点：
  • 采用电动驱动方式，流量调节连续平滑，适配工艺真空度动态调整。
  • 具备位置反馈功能，可实时反馈阀门开度，数据上传至设备控制系统。
  • 内置扭矩保护功能，防止阀门过度开启或关闭导致部件损坏。
  • 结构设计便于维护，可快速拆卸清洁，延长使用寿命。
  • 支持远程控制，可通过设备控制系统实现阀门开度自动调节，实现真空度闭环控制。
• 应用场景：安装在半导体反应腔室与真空泵组之间的管路中，用于刻蚀、沉积、离子注入等设备的真空系统，适配 200mm、300mm 晶圆生产线，保障腔室真空度稳定，提升工艺质量。