• 产品名称：半导体设备气动执行器组件
• 产品简介：该气动执行器组件是应用材料专为半导体设备设计的动力部件，用于驱动真空阀门、腔室门等设备部件运动，适配 AMAT 全系列半导体工艺设备，具备动作精准、响应迅速等特点，通过压缩空气提供动力，适配半导体洁净室环境，是设备自动化运行的核心动力部件之一。
• 技术规格：
  • 工作压力范围 0.4-0.6MPa，适配半导体工厂压缩空气系统压力。
  • 输出扭矩可达 50N・m，满足设备部件运动动力需求。
  • 动作响应时间小于 100ms，保障设备部件快速动作。
  • 适配温度范围 - 10℃至 60℃，适应设备工作环境。
  • 材质为铝合金，表面经过阳极氧化处理，耐腐蚀性能强。
  • 防护等级 IP65，具备防尘、防水能力。
• 功能特点：
  • 采用齿轮齿条传动结构，动作平稳，无冲击，延长设备部件使用寿命。
  • 具备位置反馈功能，可实时反馈执行器位置，便于设备控制系统监控。
  • 内置缓冲装置，减少动作时的振动，保障设备运行稳定。
  • 安装方式灵活，可通过法兰或支架固定，适配不同设备安装需求。
  • 维护周期长，无需频繁润滑，降低维护成本。
• 应用场景：应用于半导体真空隔离阀的驱动、工艺腔室门的开关驱动、晶圆传输机器人的辅助动作驱动等场景，适配 200mm、300mm 晶圆生产线，保障设备自动化流程顺畅，提升运行效率。