• 产品名称：半导体设备数据存储模块
• 产品简介：该数据存储模块是应用材料专为半导体设备设计的工业级存储部件，用于存储设备工艺数据、运行日志、故障记录等信息，适配 AMAT 全系列半导体工艺设备，具备大容量、高可靠性特点，支持数据长期保存和快速读取，是实现设备工艺追溯和故障分析的关键部件。
• 技术规格：
  • 存储容量为 32GB，可存储 3 年以上的工艺数据和运行日志。
  • 数据传输接口为 SATA 3.0，传输速率可达 6Gbps，保障数据快速读写。
  • 支持数据写入速度大于 200MB/s，满足设备大量数据实时存储需求。
  • 工作温度范围 0℃至 50℃，适应半导体洁净室环境。
  • 平均无故障时间（MTBF）大于 100000 小时，保障数据存储可靠。
  • 电源输入为 24V DC，功耗小于 5W，节能环保。
• 功能特点：
  • 具备数据冗余备份功能，关键数据双重存储，防止数据丢失。
  • 支持数据加密功能，采用 AES-256 加密算法，保障工艺数据安全。
  • 具备数据自动清理功能，可根据设定时间自动删除过期数据，释放存储空间。
  • 支持数据快速检索，可通过设备控制系统快速查询历史数据。
  • 模块化设计，支持热插拔，可在设备运行时更换，不影响其他部件工作。
• 应用场景：应用于半导体刻蚀、沉积、CMP 等工艺设备的控制系统，适配 200mm、300mm 晶圆生产线，用于存储工艺参数、晶圆检测数据、设备故障记录等，实现工艺追溯和故障快速排查，提升工厂管理水平。