• 产品名称：半导体设备高压电源模块
• 产品简介：该高压电源模块是应用材料专为半导体设备设计的专用供电部件，用于为刻蚀设备的偏压电极、离子注入设备的加速电极等提供稳定高压电源，具备高精度稳压和多重保护功能，适配多款 AMAT 半导体工艺设备，保障高压工艺稳定运行，是影响工艺效果的关键供电部件。
• 技术规格：
  • 输出电压范围 0-5kV，输出电流范围 0-200mA，满足高压工艺供电需求。
  • 电压调节精度 ±0.05%，电流调节精度 ±0.1%，保障供电精准。
  • 纹波系数小于 0.01%，有效降低输出电压波动，减少对工艺的干扰。
  • 输入电压为 220V AC，频率 50/60Hz，适配工业供电标准。
  • 工作温度范围 - 10℃至 40℃，具备良好的散热性能。
  • 具备过压、过流、短路、过热等多重保护功能，保护响应时间小于 5μs。
• 功能特点：
  • 采用高频开关电源技术，转换效率高达 92%，降低能耗和设备发热。
  • 支持远程通信控制，适配 EtherCAT、Modbus 等工业总线协议，可实现集中控制。
  • 输出参数可通过上位机软件实时调整，适配不同工艺阶段参数变化。
  • 模块化设计，体积小、重量轻，便于安装和维护，可快速更换故障模块。
  • 具备电压电流实时监测功能，数据可实时上传至设备控制系统，便于工艺追溯。
• 应用场景：主要用于半导体干法刻蚀设备的偏压供电、离子注入设备的加速电源、PECVD 设备的高压电极供电等场景，适配 200mm、300mm 晶圆生产线，保障刻蚀速率均匀性、离子注入精度等关键工艺指标。