• 产品名称：半导体设备高压直流电源
• 产品简介：这是应用材料为半导体高压工艺设备设计的直流电源，用于为刻蚀、沉积等设备的高压部件提供稳定直流供电，适配多款 AMAT 半导体工艺设备，具备高精度稳压、多重保护功能，能保障高压工艺稳定运行，提升工艺效果，是半导体设备的核心供电部件之一。
• 技术规格：
  • 输出电压范围 0-10kV，输出电流范围 0-100mA，满足不同高压工艺供电需求。
  • 电压调节精度 ±0.02%，电流调节精度 ±0.05%，保障供电精准。
  • 纹波系数小于 0.005%，有效降低输出电压波动，减少对工艺的干扰。
  • 输入电压为 380V AC，频率 50/60Hz，适配工业供电标准。
  • 工作温度范围 - 10℃至 50℃，具备良好的散热性能。
  • 具备过压、过流、短路、过热等多重保护功能，保护响应时间小于 1μs。
• 功能特点：
  • 采用全桥逆变技术，转换效率高达 93%，降低能耗和设备发热。
  • 支持远程通信控制，适配 EtherNet/IP、Profinet 等工业总线协议，可实现集中控制。
  • 输出参数可通过上位机软件实时调整，适配不同工艺阶段参数变化。
  • 具备电压电流实时监测功能，数据可实时上传至设备控制系统，便于工艺追溯。
  • 结构设计兼顾安全性和维护便利性，可快速拆卸更换，降低维护成本。
• 应用场景：应用于半导体刻蚀设备的高压电极供电、沉积设备的高压偏置供电、离子注入设备的高压加速电源等场景，适配 200mm、300mm 晶圆生产线，保障工艺稳定，提升半导体器件制造质量。