• 产品名称：半导体设备伺服驱动控制模块
• 产品简介：该模块是应用材料专为半导体晶圆传输机器人、腔室门驱动等部件设计的伺服控制部件，适配 AMAT 全系列自动化设备，具备高精度位置控制和快速响应能力，通过控制伺服电机实现设备部件的精准运动，是保障设备自动化流程顺畅的核心控制部件，支持多种工业通信协议。
• 技术规格：
  • 适配电机类型为交流伺服电机，功率范围 0.5-5kW。
  • 位置控制精度可达 ±0.001mm，满足半导体高精度运动需求。
  • 速度控制范围 0-5000rpm，适配不同部件运动速度需求。
  • 通信接口支持 EtherCAT、Profinet，数据传输速率达 100Mbps。
  • 工作电压为 220V AC，频率 50/60Hz，适配工业供电标准。
  • 工作温度范围 0℃至 40℃，适应半导体洁净室环境。
• 功能特点：
  • 采用矢量控制算法，电机运行平稳，扭矩输出稳定，减少运动振动。
  • 具备位置、速度、扭矩三重控制模式，适配不同设备部件运动需求。
  • 内置过流、过压、过热、过载等多重保护功能，保护响应时间小于 10μs。
  • 支持参数在线调整和实时监测，数据可上传至设备控制系统，便于故障排查。
  • 模块化设计，安装便捷，可快速更换故障模块，降低停机时间。
• 应用场景：用于半导体晶圆传输机器人的手臂运动控制、腔室门的精准开关控制、晶圆承载台的升降定位控制等场景，适配 200mm、300mm 晶圆生产线的 EFEM、刻蚀、沉积等设备，保障设备自动化运行的精准高效。