• 产品名称：半导体设备冷却水管路组件
• 产品简介：该组件是应用材料专为半导体设备设计的冷却系统部件，用于为工艺腔室、射频电源、伺服电机等发热部件输送冷却介质，适配 AMAT 全系列半导体工艺设备，具备密封性能好、耐腐蚀等特点，保障设备部件温度稳定，避免因过热导致故障，是设备可靠运行的重要保障部件。
• 技术规格：
  • 管路材质为 316L 不锈钢，耐腐蚀性能强，适配去离子水等冷却介质。
  • 管路内径为 12mm，外径为 16mm，适配设备冷却系统流量需求。
  • 工作压力范围 0-1.0MPa，保障冷却介质稳定输送。
  • 密封材质为氟橡胶，耐温范围 - 20℃至 180℃，密封性能优异。
  • 适配温度范围 - 10℃至 60℃，适应设备工作环境。
  • 使用寿命可达 15000 小时，减少更换频率。
• 功能特点：
  • 采用双卡套式接头，密封可靠，安装便捷，可快速拆卸更换。
  • 管路采用弯曲半径优化设计，减少流体阻力，提升冷却效率。
  • 表面经过钝化处理，增强耐腐蚀性能，延长管路使用寿命。
  • 具备泄漏检测接口，可实时监测管路密封状态，及时发现泄漏问题。
  • 适配多种冷却介质，包括去离子水、乙二醇水溶液等。
• 应用场景：应用于半导体刻蚀设备的反应腔室冷却、沉积设备的晶圆承载台冷却、射频电源模块散热等场景，适配 200mm、300mm 晶圆生产线，保障设备部件温度稳定，提升运行可靠性和工艺稳定性。