• 产品名称：伺服电机编码器
• 产品简介：该编码器是应用材料公司推出的适配半导体设备伺服电机的高精度位置反馈部件，能实时采集伺服电机的转动角度、转速等位置信息，并将其转换为电信号传输给电机控制器，是实现伺服电机精准定位与运动控制的核心部件，对晶圆传输、设备部件运动精度起着决定性作用。
• 技术规格
  • 分辨率为 2500 线，支持 ABZ 三相增量式信号输出，能精准捕捉电机的位置变化。
  • 输出信号类型为差分信号，抗干扰能力强，信号传输距离可达 50 米。
  • 工作电压为 DC 5V，工作电流为 100mA，适配伺服电机控制系统的供电标准。
  • 工作温度范围为 - 25℃至 85℃，防护等级为 IP65，适应半导体设备的复杂工作环境。
  • 轴径为 8mm，适配多数 AMAT 伺服电机的安装接口，安装精度高。
• 功能特点
  • 响应频率高达 500kHz，能快速反馈电机的位置与速度信息，保障伺服电机的动态响应性能。
  • 具备信号纠错功能，可自动修正传输过程中的轻微信号误差，确保反馈信息的准确性。
  • 抗振动性能强，能承受 10g 的振动加速度，在设备高速运行时保持稳定工作。
  • 安装便捷，采用卡扣式固定，无需复杂工具，可快速完成安装与更换。
• 应用场景：广泛应用于半导体晶圆传输系统，如晶圆机器人、传输导轨、机械手臂等设备的伺服电机，确保晶圆在传输、定位过程中的精准移动，避免晶圆碰撞与损伤，适用于 200mm、300mm 晶圆的制造生产线，也可用于半导体设备中其他需要高精度运动控制的部件。