• 产品名称：直流开关电源
• 产品简介：这是一款专为半导体制造设备设计的高性能直流开关电源，可将输入的交流电高效转换为稳定的直流电，为设备中的控制电路、执行机构、传感器等多种部件提供可靠电力，具备高效、稳定、抗干扰等特点，是保障半导体设备连续稳定运行的核心电源部件之一。
• 技术规格
  • 输入电压范围为 AC 176-264V，频率 50/60Hz，兼容不同地区供电标准。
  • 输出电压为 DC 48V，输出电流为 15A，输出功率可达 720W，满足设备多部件供电需求。
  • 电压调整率为 0.05%，负载调整率为 0.1%，输出电压稳定性高。
  • 纹波与噪声小于 20mVp-p，为后端设备提供洁净的直流电源。
  • 采用自然散热方式，工作温度范围为 - 20℃至 70℃，适应工业环境。
• 功能特点
  • 具备过流、过压、过温、短路等多重保护功能，异常时迅速切断输出，保护设备与电源本身。
  • 转换效率高达 95%，降低电能损耗，符合半导体行业节能要求。
  • 支持热插拔，可在设备不停机情况下更换，提升设备运行效率。
  • 电磁兼容性符合 EN55022 标准，减少对设备其他部件的电磁干扰。
• 应用场景：适用于等离子体刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备等各类半导体制造设备，为设备的射频电源、静电卡盘、控制系统等部件提供稳定直流供电，保障设备正常运行与工艺精准执行，适配逻辑芯片、存储芯片等多种半导体器件的制造流程。