• 产品名称：气动控制阀门
• 产品简介：这是应用材料公司生产的一款用于半导体设备流体控制系统的气动控制阀门，主要用于控制半导体工艺中各类气体、液体的通断与流量调节，具备响应迅速、控制精准等特点，是保障工艺流体按设定参数输送的关键部件，广泛应用于设备的气体输送、真空系统等流体控制环节。
• 技术规格
  • 阀门类型为两位五通单电控气动阀，适配流体控制的通断需求。
  • 额定工作压力为 0-0.8MPa，满足半导体设备流体系统的压力要求。
  • 适配介质为氮气、氧气、氩气等惰性气体及部分腐蚀性工艺气体，也可用于去离子水等液体。
  • 阀体材质为 316L 不锈钢，密封件采用全氟醚橡胶，耐化学腐蚀性与密封性优异。
  • 响应时间小于 50ms，能快速执行通断指令，保障流体控制的及时性。
• 功能特点
  • 采用先导式结构设计，控制精度高，流量控制误差小于 1%，适配高精度工艺需求。
  • 具备手动应急操作功能，在断电或气动系统故障时，可手动控制阀门开关，保障设备维护便捷性。
  • 密封性能好，泄漏率小于 10⁻⁸Pa・m³/s，避免流体泄漏影响工艺环境与安全。
  • 使用寿命长，正常工况下，开关次数可达 100 万次以上，降低维护成本。
• 应用场景：主要用于半导体设备的气体面板、真空腔体、化学液体输送系统等，如在 CVD、刻蚀、离子注入等工艺设备中，控制反应气体、清洗气体、真空排气等流体的通断与流量，保障工艺过程中流体的精准供应，适用于 200mm、300mm 晶圆的制造设备。