• 产品名称：压力传感器
• 产品简介：这是一款应用于半导体设备的高精度压力传感器，由应用材料公司研发生产，专门用于实时监测半导体工艺腔体、气体输送管路等部位的压力参数，并将压力信号转换为标准电信号传输给控制系统，为工艺参数的闭环控制提供数据支撑，是保障工艺稳定性与安全性的重要检测部件。
• 技术规格
  • 测量范围为 0-1000Torr，涵盖半导体工艺常见的压力区间。
  • 测量精度为 ±0.1% FS，确保压力数据的精准采集。
  • 输出信号为 4-20mA 标准模拟信号，便于与设备控制系统对接。
  • 工作温度范围为 - 40℃至 125℃，适配半导体设备的复杂温度环境。
  • 接口采用 1/4 英寸 NPT 螺纹，安装便捷，密封性能好。
  • 材质为 316L 不锈钢，耐化学腐蚀性强，适配各类工艺气体环境。
• 功能特点
  • 具备温度补偿功能，在不同温度环境下，仍能保证测量数据的准确性，温度漂移小于 0.02% FS/℃。
  • 响应时间小于 10ms，能快速捕捉压力变化，保障控制系统及时响应。
  • 过载能力强，可承受 150% FS 的过载压力，不易损坏，提升使用可靠性。
  • 具备反极性保护功能，避免接线错误导致传感器损坏。
• 应用场景：适用于半导体制造的各类设备，如化学气相沉积设备、刻蚀设备、真空传输系统等，用于监测工艺腔体压力、气体管路压力、真空系统压力等参数，为工艺控制、设备保护提供数据支持，保障薄膜沉积、刻蚀等工艺的稳定性，适配多种半导体器件的制造流程。