• 产品名称：压力控制开关
• 产品简介：这是应用材料公司推出的一款用于半导体设备压力监测与控制的压力控制开关，主要用于实时监测设备真空腔体、气体管路等部位的压力，当压力达到设定阈值时自动触发通断动作，实现对工艺压力的精准控制与安全保护，是保障半导体工艺稳定与设备安全的关键部件。
• 技术规格
  • 压力设定范围为 250-300psi，适配半导体工艺中高压气体输送的压力监测需求。
  • 开关类型为单刀双掷（SPDT），触点容量为 15A 250VAC，满足设备电气控制的负载要求。
  • 工作温度范围为 - 40℃至 85℃，适配半导体设备的复杂工作环境。
  • 接口采用 1/4 英寸 NPT 螺纹，安装便捷，密封性能好，适配多数气体管路接口标准。
  • 响应时间小于 20ms，能快速响应压力变化，保障控制及时性。
• 功能特点
  • 压力设定精度高，误差小于 ±2psi，确保压力控制的准确性。
  • 具备防腐蚀涂层，能抵御工艺气体的侵蚀，延长使用寿命。
  • 触点接触电阻小于 50mΩ，导电性能优异，减少信号传输损耗。
  • 结构坚固，抗振动性能强，可承受 8g 的振动加速度，在设备高速运行时保持稳定。
• 应用场景：广泛应用于半导体设备的气体输送系统、真空腔体压力控制回路等，如化学气相沉积设备、等离子体刻蚀机的气体管路压力监测，当压力超出设定范围时，自动切断气源或触发报警，保障工艺安全与稳定，适配 200mm、300mm 晶圆的制造设备。