• 产品名称：气动隔膜阀
• 产品简介：该气动隔膜阀是应用材料公司生产的用于半导体设备流体控制系统的关键部件，采用隔膜密封结构，无填料函设计，能实现零泄漏，专门用于控制半导体工艺中腐蚀性气体、特种液体的通断，具备耐腐蚀、无污染等特点，是保障工艺流体纯净与输送精准的核心部件。
• 技术规格
  • 阀门类型为常闭型气动隔膜阀，适配流体通断的控制需求。
  • 额定工作压力为 0-0.6MPa，满足半导体设备流体系统的压力要求。
  • 适配介质为盐酸、硫酸等腐蚀性化学液体及氯气、氟气等腐蚀性工艺气体。
  • 阀体材质为 PTFE，隔膜采用全氟醚橡胶，耐化学腐蚀性与密封性优异。
  • 响应时间小于 80ms，能快速执行通断指令，保障流体控制的及时性。
• 功能特点
  • 采用无死区流道设计，流体残留量小于 0.1mL，避免不同介质混合污染。
  • 密封性能极佳，泄漏率小于 10⁻¹⁰Pa・m³/s，保障工艺环境安全。
  • 具备手动操作功能，在气动系统故障时，可手动控制阀门开关，提升设备维护便捷性。
  • 结构紧凑，安装空间小，适配设备内部复杂的空间布局。
• 应用场景：主要应用于半导体设备的化学液体输送系统、腐蚀性气体输送管路等，如半导体清洗设备、湿法刻蚀设备等，用于控制腐蚀性介质的通断，保障工艺的安全性与介质的纯净度，适配 200mm、300mm 晶圆的制造设备。