• 产品名称：真空阀门驱动装置
• 产品简介：这是应用材料公司研发的用于半导体设备真空阀门的驱动部件，负责控制真空阀门的开启与关闭，采用高精度传动设计，能实现阀门的精准定位与快速响应，保障真空系统的压力控制与真空度维持，是真空系统自动化控制的核心部件。
• 技术规格
  • 驱动方式为气动驱动，适配真空阀门的动力需求，额定工作压力为 0.4-0.6MPa。
  • 驱动行程为 25mm，适配多数真空阀门的开启关闭行程要求。
  • 输出推力为 500N，能稳定驱动阀门，保障阀门密封紧密。
  • 工作温度范围为 - 20℃至 80℃，适配半导体设备的工作环境。
  • 响应时间小于 100ms，能快速执行阀门开关指令，保障真空系统控制及时性。
• 功能特点
  • 具备行程限位功能，可精准控制阀门的开启度，适配不同真空度调节需求。
  • 内置位置传感器，能实时反馈阀门的开关状态，为控制系统提供数据支撑。
  • 结构设计紧凑，安装便捷，适配多种型号的真空阀门安装接口。
  • 具备防尘防水设计，防护等级为 IP65，适应设备内部的复杂环境。
• 应用场景：广泛应用于半导体设备的真空系统，如真空腔体的排气阀门、充气阀门等，用于控制真空腔体的抽气与充气过程，适配刻蚀设备、沉积设备、真空传输系统等，保障工艺所需的真空度，提升半导体制造的工艺稳定性。