• 产品名称：射频功率分配器
• 产品简介：该射频功率分配器是应用材料公司推出的半导体设备射频系统核心部件，用于将射频电源输出的射频功率均匀分配至多个负载，如多个工艺腔体的射频电极，具备功率分配精准、损耗低等特点，保障各负载获得稳定的射频能量，是射频系统中实现多工位协同工作的关键部件。
• 技术规格
  • 工作频率范围为 13.56MHz，适配半导体设备常用的射频频段。
  • 功率容量为 500W，能满足中功率射频系统的功率分配需求。
  • 具备 4 路功率输出通道，各通道功率分配误差小于 ±1dB，分配精度高。
  • 输入输出接口为 N 型接头，适配射频系统的连接标准，连接稳定性高。
  • 工作温度范围为 - 30℃至 70℃，适配半导体设备的工作环境。
• 功能特点
  • 插入损耗小于 0.5dB，减少射频功率损耗，提升能量利用效率。
  • 隔离度大于 20dB，有效防止各输出通道之间的信号干扰，保障射频信号稳定。
  • 采用屏蔽结构设计，屏蔽效能达 90dB 以上，抗外界电磁干扰能力强。
  • 结构坚固，散热性能好，能在满功率运行时保持稳定的工作温度。
• 应用场景：主要应用于多腔室半导体设备的射频系统，如多工位化学气相沉积设备、等离子体刻蚀设备等，用于将射频功率分配至各工艺腔体，保障各腔体等离子体的稳定产生，适配 200mm、300mm 晶圆的制造设备，提升工艺的一致性与生产效率。